受試者夾上鼻夾、口含咬嘴後平靜呼吸4～5個週期，待潮氣末基線平穩後，指導其呼氣完全至殘氣量位，然後令受試者快速均勻吸氣完全至肺總量位，建議2s內完成吸氣，氣道阻塞者應在4s內完成吸氣，接著屏氣10s，最後均勻持續中速呼氣完全至殘氣量位，建議在2～4s內完成呼氣。
肺彌散功能檢查指標
1、肺一氧化碳彌散量（DLCO）和肺一氧化碳彌散因子（TLCO）
肺一氧化碳彌散量（DLCO）是指CO在單位時間（1min）及單位壓力差（1mmHg或0.133kPa）條件下從肺泡轉移至肺泡毛細血管內並與Hb結合的量（mL或mmol），其單位是mL/（min﹒mmHg）或mmol/（min﹒kPa），是反映肺彌散功能的主要指標。因為肺彌散能力不僅受毛細血管膜的影響，也受毛細血管血流的影響，因此有學者提出用轉移因子（TL）代替彌散量（DL），檢測方法、單位、意義與DLCO相同。
2、肺泡通氣量（VA）
指每分鐘吸入氣量中能達到肺泡並進行氣體交換的有效通氣量，用於估算肺內一氧化碳能夠擴散並通過肺泡毛細血管膜的肺容積，其單位是mL，正常受試者VA大致與TLC相等。
3、肺一氧化碳彌散量與肺泡通氣量比值（DLCO/VA）
也稱單位肺泡容積的彌散量或比彌散量，由於彌散量受肺泡通氣量影響，肺泡通氣量減少可導致DLCO減少，因此評價彌散功能時應該考慮受試者的肺泡通氣量（VA），以排除肺容積對彌散量的影響，其單位是L/（min﹒mmHg）或mL/（min﹒kPa）。臨床上常用DLCO/VA作矯正，DLCO/VA更容易區分肺部的病理生理改變。但由於DLCO與VA的關係不是線性且顯著小於1:1，因此不能準確校正容量的影響。
4、每升肺泡容積的一氧化碳彌散量（KCO或Krogh因子）
其單位是mL/（min﹒kPa），意義同DLCO/VA。
5、校正後DLCO值（DLCOc）
常用血紅蛋白（Hb）、吸入氣體的氧分壓（PIO2）和碳氧血紅蛋白（COHb）進行校正。
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